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院长: 徐红星

副院长刘胜

副院长: 何军

院长助理: 孙成亮,刘威

 

微电子研究部

主任:孙成亮

光电子研究部

主任:王植平

微电子材料研究部

主任:袁荃

微电子装备研究部

主任:宋毅

微纳加工中心主任

主任:江金光、管志强

行政管理办公室

主任:周英


 

教授委员会

主席: 徐红星院士

委员: 徐红星、何军、刘胜、龚威、袁荃、孙成亮、李仲阳、江金光、王植平、常胜、刘威